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单级变隙电容的相对变化量为：
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非线性误差为： 本文来自www.eadianqi.com 结论：要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大 本文来自www.eadianqi.com 差动式结构： 本文来自www.eadianqi.com
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